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J-GLOBAL ID:201602214985349580   整理番号:13A0523276

Effects of Sputtering Pressure and Substrate Temperature on Structure and Optical Absorption Properties of Si1-xGex Thin Films

著者 (7件):
資料名:
巻: 36  号:ページ: 32-36  発行年: 2012年 
JST資料番号: C2051A  ISSN: 1000-3738  CODEN: JGCAEL  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)

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