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J-GLOBAL ID：201602215521621765   整理番号：16A0278046

高解像度透過型電子顕微鏡とデジタル画像相関を用いたナノ変形解析

Nanoscale Deformation Analysis With High-Resolution Transmission Electron Microscopy and Digital Image Correlation

著者 (8件)： WANG Xueju (Georgia Inst. of Technol., GA) ,  PAN Zhipeng (Georgia Inst. of Technol., GA) ,  FAN Feifei (Georgia Inst. of Technol., GA) ,  WANG Jiangwei (Univ. Pittsburgh, PA) ,  LIU Yang (Sandia National Lab., NM) ,  MAO Scott X. (Univ. Pittsburgh, PA) ,  ZHU Ting (Univ. Pittsburgh, PA) ,  XIA Shuman (Univ. Pittsburgh, PA)
資料名： Journal of Applied Mechanics  (Journal of Applied Mechanics)
巻： 82  号： 12  ページ： 121001.1-121001.9  発行年： 2015年12月 
JST資料番号： C0660A  ISSN： 0021-8936  CODEN： JAMCAV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,高分解能透過型電子顕微鏡(HRTEM)によるナノスケール変形分析のために,デジタル画像相関(DIC)との組み合わせの有効性を示した。2種類の異なるDIC法(局所およびグローバル)の背景理論が導入され,それらの利点,欠点が考察された。非晶質ケイ素(a-SiC)試験片の剛体移動の間に捉えられた,TEM画像を相関づけることにより,定量誤差解析が実施された。TEM画像の雑音と,電磁レンズ歪は,0.1%のオーダーであった。TEM-DICの効用は,a-SiC/酸化リチウム化(拡散)の事例研究で実施され,提案したHRTEMとDICの組み合わせが,他の方法に優る,超高分解能と,高品位検出感度の両方を提供することを示した。

シソーラス用語： 酸化リチウム ,  *透過型電子顕微鏡 ,  画像補正 ,  高分解能 ,  評価 ,  レンズ ,  歪 ,  力学 ,  アモルファスシリコン ,  長さ ,  *解析
準シソーラス用語： ナノサイズ ,  誤差評価 ,  変形解析

分類 (1件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高解像度 ,  透過型電子顕微鏡 ,  デジタル画像相関 ,  変形解析