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J-GLOBAL ID：201602216023413094   整理番号：15A1295645

MEMS作製に基づく新しい高線形圧力センサの設計【Powered by NICT】

Design of a Novel High-linear Pressure Sensor Based on MEMS Fabrication

著者 (1件)： Hu Zhiwen (School of New Media, Zhejiang Univ. of Media and Communication, Hangzhou)
資料名： Weidianzixue yu Jisuanji  (Weidianzixue yu Jisuanji)
巻： 32  号： 9  ページ： 114-118,123  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2387A  ISSN： 1000-7180  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 高線形性をもつMEMS容量性マイクロメカニカル圧力センサを提示した,それは固定球状キャップ電極と複数の膜に基づいている。この素子では,電極の接触プロセスは測定範囲の初期から始まり,DRIEによってできた穴の構造が追加された。新しい装置は全測定範囲で良好な直線性を可能にすることができる。タッチ状態と線形性に対する膜厚の解析を実施し,新しい構造が有効であることを実証した。さらに,このデバイスの作製プロセスを提案し,紹介した。高線形マイクロメカニカル圧力センサは,タイヤ圧力監視システム(TPMS),100kPa~800kPaの圧力範囲で動作する良好な選択を提供することができる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電極 ,  監視装置 ,  *線形性 ,  *圧力センサ ,  膜厚 ,  *MEMS
準シソーラス用語： DRIE【エッチング】 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 計算機網  (JC03000K) ,  計算機シミュレーション  (JE11000H)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  作製 ,  線形 ,  圧力センサ ,  設計