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J-GLOBAL ID：201602217364279916   整理番号：16A0800261

MeVエネルギーイオンプローブを用いた環境SIMSの開発

Development of ambient SIMS using MeV-energy ion probe

著者 (5件)： KUSAKARI M. (Kyoto Univ.) ,  FUJII M. (Kyoto Univ.) ,  SEKI T. (Kyoto Univ.) ,  AOKI T. (Kyoto Univ.) ,  MATSUO J. (Kyoto Univ.)
資料名： Annual Report of Quantum Science and Engineering Center  (Annual Report of Quantum Science and Engineering Center)
巻： 18  ページ： 21-25  発行年： 2016年07月 
JST資料番号： L6689A  ISSN： 1345-0700  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 環境条件下で大きな無傷分子を高感度で検出するために,MeVエネルギー領域のイオンプローブを用いる新しい二次イオン質量分析(SIMS)装置を開発した。装置はMeVエネルギーの重イオンにより誘起した特徴,即ち,表面近傍で誘起した電子励起と環境状況下の高い透過能力に基づく。二次イオンは電場と大気圧ガス流により質量分析器へ効果的に輸送し,ガスから化学的不純物を電場を用いて取除いた。さらに,この新しい環境分析手法は固体試料だけでなく,高真空下で蒸発させた液体試料も評価できる。液体水と安息香酸溶液のサンプリングを環境条件下で測定した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *二次イオン質量分析 ,  質量分析計 ,  二次イオン ,  イオンプローブ ,  *質量スペクトル ,  *重イオンビーム ,  芳香族カルボン酸

分類 (1件)： 質量分析計  (BD02060M)

物質索引 (1件)： 安息香酸

タイトルに関連する用語 (5件)： エネルギー ,  イオンプローブ ,  環境 ,  SIMS ,  開発