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J-GLOBAL ID:201602217860695673   整理番号:16A0219153

複数アクチュエータの回転中心・重心点ハイブリッド駆動法による超精密ステージの非干渉化制御

著者 (5件):
資料名:
巻: 2015  ページ: ROMBUNNO.2-29  発行年: 2015年 
JST資料番号: L2177B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (3件):
分類
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ロボットの設計・製造・構造要素  ,  運動機構  ,  システム設計・解析 

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