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J-GLOBAL ID：201602217860695673   整理番号：16A0219153

複数アクチュエータの回転中心・重心点ハイブリッド駆動法による超精密ステージの非干渉化制御

著者 (5件)： 大西亘 (東大) ,  藤本博志 (東大) ,  坂田晃一 (ニコン) ,  鈴木一弘 (ニコン) ,  佐伯和明 (ニコン)
資料名： 電気学会産業応用部門大会(CD-ROM)  (Proceedings of the IEE Japan Industry Applications Society Conference (CD-ROM))
巻： 2015  ページ： ROMBUNNO.2-29  発行年： 2015年 
JST資料番号： L2177B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *アクチュエータ ,  中心 ,  重心 ,  *位置決め装置 ,  *制御 ,  モデリング ,  周波数特性 ,  フィードバック制御 ,  並進 ,  回転 ,  回転中心 ,  *X-Yステージ ,  *非干渉制御
準シソーラス用語： 周波数応答特性 ,  並進運動 ,  回転運動

分類 (3件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  運動機構  (QB01080K) ,  システム設計・解析  (IA02030D)

タイトルに関連する用語 (6件)： アクチュエータ ,  回転中心 ,  重心 ,  超精密 ,  ステージ ,  干渉