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J-GLOBAL ID：201602217872032653   整理番号：15A1302048

(NH_4)_2S不動態化したGaSb表面の化学的および電気的性質【Powered by NICT】

Chemical and electrical properties of (NH_4)_2S passivated GaSb surface
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著者 (10件)：
Tao Dongyan

Tao Dongyan について

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Cheng Yu

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Liu Jingming

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Su Jie

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Liu Tong

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Yang Fengyun

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Wang Fenghua

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Cao Kewei

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Dong Zhiyuan

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資料名：
Journal of Semiconductors  (Journal of Semiconductors)

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巻： 36  号： 7  ページ： 073006-01-073006-05  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2377A  ISSN： 1674-4926  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
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硫化アンモニウム((NH_4)2S)溶液不動態化後にアンチモン化ガリウム(GaSb)の表面の化学的性質をX線光電子分光法(XPS),飛行時間二次イオン質量分光法(TOF-SIMS)およびI-V測定によって研究した。純(NH_4)2S溶液およびアルカリ性(NH_4)2SCS溶液上の中立(NH_4)2SCS溶液の利点は,コントラストと比較によるGaSb表面を不動態化する能力で見出されている。アルカリ(NH_4)2SCS溶液不動態化GaSb表面の酸化物を効果的に除去すると硫化物生成物を形成する素子性能を改善することが分かった。TOF-SIMS補完は,純粋な(NH_4)2S不動態化は硫化生成物,は本当に存在する可溶性すぎるを形成したことを示した。3D光学プロフィルメータと最高の改善されたSBD品質を用いて決定した最低の粗さは中性(NH_4)2SCS溶液不動態化は,GaSbの表面特性を改善するのに一層良好に作用することが証明された。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】
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