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J-GLOBAL ID：201602217954426510   整理番号：16A0172316

フォトレジスト上における振幅変調したラジアル偏光ビームの集光によるスポットサイズの縮小実験

Demonstration of spot size reduction by focussing amplitude modulated radially polarized light on a photoresist

著者 (4件)： USHAKOVA K (Fac. of Applied Sci., Delft, NLD) ,  VAN DEN BERG Q Y (Fac. of Applied Sci., Delft, NLD) ,  PEREIRA S F (Fac. of Applied Sci., Delft, NLD) ,  URBACH H P (Fac. of Applied Sci., Delft, NLD)
資料名： Journal of Optics  (Journal of Optics)
巻： 17  号： 12  ページ： 125615,1-8  発行年： 2015年12月 
JST資料番号： D0538C  ISSN： 2040-8978  CODEN： JOOPCA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 開口数の大きい光学システムにおいて,円偏光特性を維持しながら集光スポットサイズを縮小する技法への関心が,過去数十年に亘って高まっている。S.Quabis等の先駆的な研究において,ラジアル偏光ビームを用いると,集光場の縦成分は非常に急峻になることが報告されている。非常に小さなスポットに集光した縦成分は,光トラッピング,プラズモニクス,レーザー加工,アクセラレーターおよび単分子検出などを含む様々な分野に応用されている。集光したラジアル偏光ビームの応用を制限する問題の一つに,縦成分は非常に強い成分を持つが,横成分の分布はドーナツ型であるという事実がある。結果として,ラジアル偏光ビームのスポットは円筒対称を持ち,Airyスポットよりも狭い。本稿では,フォトレジスト上における振幅変調したラジアル偏光ビーム集光によるスポットサイズの縮小を,波長が405nmの光によって実証した結果について報告する。先ず,H.P.UrbachおよびS.F.Pereiraによって研究されたビーム縮小に関する基本的な理論の概略を述べ,光ビームが界面によって集光される場合に,横成分の寄与を最小に維持しながら集光した縦成分を最も急峻にするために最適化された瞳孔分布を示す。高品質のラジアル偏光ビームを得るために,実験では放射状のワイヤ・グリッド偏光子を用いた。次に,ビームの振幅と偏光を適当に調整し,フォトレジスト上に開口数の大きいビームを集光するための実験装置と実験法について詳述する。最後に,実験的に得られた解析結果と理論的データの比較研究を行い,最小化された集光スポットを得るための様々な方法を評価する。

シソーラス用語： *集光 ,  *フォトレジスト ,  振幅変調 ,  偏光 ,  レーザビーム ,  *縮小 ,  開口数 ,  近紫外線 ,  *フォトリソグラフィー
準シソーラス用語： スポットサイズ ,  *ラジアル偏光ビーム

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： フォトレジスト ,  振幅変調 ,  ラジアル偏光ビーム ,  集光 ,  スポットサイズ ,  縮小 ,  実験