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J-GLOBAL ID：201602218623431161   整理番号：16A0144918

ゾル-ゲルPZT膜による集積強誘電キャパシタの電気物理特性

Electrophysical Properties of Integrated Ferroelectric Capacitors Based on Sol-Gel PZT Films

著者 (7件)： DELIMOVA L. A. (Ioffe Physicotechnical Inst., Saint Petersburg, RUS) ,  GUSCHINA E. V. (Ioffe Physicotechnical Inst., Saint Petersburg, RUS) ,  YUFEREV V. S. (Ioffe Physicotechnical Inst., Saint Petersburg, RUS) ,  GREKHOV I. V. (Ioffe Physicotechnical Inst., Saint Petersburg, RUS) ,  SEREGIN D. S. (Ioffe Physicotechnical Inst., Saint Petersburg, RUS) ,  VOROTILOV K. A. (Moscow State Technical Univ. Radioengineering, RUS) ,  SIGOV A. S. (Moscow State Technical Univ. Radioengineering, RUS)
資料名： Ferroelectrics  (Ferroelectrics)
巻： 484  ページ： 140-150  発行年： 2015年10月 
JST資料番号： D0777A  ISSN： 0015-0193  CODEN： FEROA8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *強誘電体 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  ゾル-ゲル法 ,  多結晶 ,  *MIM構造 ,  ヒステリシス ,  誘電分極 ,  非対称性 ,  電流電圧特性 ,  結晶粒界 ,  短絡電流 ,  光電流 ,  分極反転 ,  減極 ,  電場 ,  電気機械効果 ,  *薄膜成長 ,  *コンデンサ
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】 ,  たわみ電気効果 ,  内部電場 ,  分極スイッチング ,  *強誘電体キャパシタ

分類 (4件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属-絶縁体-金属構造  (BM03087F) ,  LCR部品  (NA05030D)

タイトルに関連する用語 (5件)： ゾル-ゲル ,  PZT ,  集積 ,  キャパシタ ,  物理特性