走査プローブ顕微鏡の探針作製用ヒステリシス回路

石渡信吾; 石渡信吾; 鈴木敦; 鈴木敦; 岡駿資; 首藤健一; 首藤健一

文献

J-GLOBAL ID：201602218837410218 整理番号：16A0096565

走査プローブ顕微鏡の探針作製用ヒステリシス回路

Hysteresis Circuit for Stable Fabrication of Scanning Probe Microscope Tips

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資料名：
巻： 58 号： 12 ページ： 442-445 (J-STAGE) 発行年： 2015年
JST資料番号： G0194A ISSN： 1882-2398 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

著者らの走査型トンネル顕微鏡用の探針作成法では,Wの探針材料の線材を陽極とし,Ptなどの円環を陰極として使い,水酸化ナトリウム水溶液を電解質に使って作成する。W-Pt間に2-7 V程度の直流電圧を印加すると,電気分解による気泡の発生や反熱等による対流によって液面直下でW線の浸食が進み,そのくびれ部位でW線が切れて下側部分が溶液中に落下する。落下直後は極めて鋭利な先端が形成される。電解研磨で下部の落下から電流を切るまでの電源操作が遅れると,先端部分は浸食が進んで丸くなってしまう。探針頭部の半径の制御は,電気化学電流を制御することが重要となる。Schmittトリガ機構によって実現したヒステリシススイッチにより電流をモニタする装置を作成し,高品質の探針を作成させる技術を開発した。この技術により,走査電子顕微鏡の分解能0.1μmを超える鋭い探針を作成することに成功した。

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その他の表面処理 , 顕微鏡法

引用文献 (11件)：

1) J. P. Ibe, P. P. Bey Jr., S. L. Brandow, R. A. Brizzolara, N. A. Burnham, D. P. DiLella, K. P. Lee, C. R. K. Marrian and R. J. Colton: J. Vac. Sci. Technol. A, 8 (1990) 3570.
2) D. Gingery and P. Bühlmann: Rev. Sci. Instrum., 78 (2007) 113703.
3) C. Zhang, B. Gao, L. G. Chen, Q. S. Meng, H. Yang, R. Zhang, X. Tao, H. Y. Gao, Y. Liao and Z. C. Dong: Rev. Sci. Instrum., 82 (2011) 083101.
4) R. Shimizu, T. Hitosugi, T. Hashizume, N. Fukuo and T. Hasegawa: Jpn. J. Appl. Phys., 49 (2010) 028004.
5) H. Chen, W. Xiao, X. Wu, K. Yang and H. -J. Gao: J. Vac. Sci. Technol. B, 32 (2014) 061801.

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