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J-GLOBAL ID：201602221047407229   整理番号：16A0647450

エアロゾルデポジション法における原料粒子の特性と製膜性

著者 (6件)： 田中誠 (ファインセラミックスセ) ,  北岡諭 (ファインセラミックスセ) ,  櫻田修 (岐阜大) ,  神谷庄司 (名古屋工大) ,  宍戸信之 (名古屋工大) ,  香川豊 (東大)
資料名： JFCC研究成果集  (JFCC研究成果発表会成果集)
巻： 2015  ページ： 27  発行年： 2015年 
JST資料番号： L1711B  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *蒸着 ,  エアロゾル ,  薄膜成長 ,  *製膜 ,  運動エネルギー ,  セラミック膜 ,  固体粒子 ,  基板 ,  破壊エネルギー ,  飛行時間法 ,  圧壊 ,  破壊試験 ,  緻密化 ,  イットリウム化合物 ,  チタン酸塩 ,  チタン酸イットリウム ,  エネルギー ,  力学量
準シソーラス用語： *エアロゾルデポジション法

分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (3件)： エアロゾルデポジション法 ,  原料粒子 ,  製膜性