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J-GLOBAL ID:201602221047407229   整理番号:16A0647450

エアロゾルデポジション法における原料粒子の特性と製膜性

著者 (6件):
資料名:
巻: 2015  ページ: 27  発行年: 2015年 
JST資料番号: L1711B  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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薄膜成長技術・装置 
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