研究者
J-GLOBAL ID:201101099285286851   更新日: 2022年09月12日

神谷 庄司

カミヤ シヨウジ | Kamiya Shoji
所属機関・部署:
職名: 教授
研究分野 (1件): 材料力学、機械材料
研究キーワード (1件): -
競争的資金等の研究課題 (2件):
  • 薄膜の破壊力学的強度評価に関する研究
  • 繊維強化複合材料の破壊過程に関する研究
論文 (78件):
MISC (1件):
  • 神谷庄司. 密着強度の評価における表面形成と塑性変形のエネルギー. 表面技術. 2012. 63. 12. 10-16
講演・口頭発表等 (28件):
  • 半導体デバイス配線中のCu/SiN界面局所付着強度に及ぼす銅の結晶方位の影響
    (日本機械学会東海支部第62期総会講演会 2013)
  • 配線銅/保護層界面剥離試験中の銅結晶粒構造その場観察による界面付着強度と局所変形との相関評価
    (日本機械学会東海支部第62期総会講演会 2013)
  • 単結晶シリコンの塑性特性における吸蔵水素の影響
    (日本機械学会東海支部第62期総会講演会 2013)
  • 電子線誘起電流を用いた圧縮応力下におけるシリコンの疲労損傷の観察
    (日本機械学会東海支部第62期総会講演会 2013)
  • き裂進展シミュレーションによるLSIのCu/SiN界面付着強度に対する銅の結晶粒構造の影響の評価
    (日本機械学会東海支部第62期総会講演会 2013)
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