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J-GLOBAL ID：201602226010616022   整理番号：16A1275685

進化する最先端計測・解析技術とナノテクノロジープラットフォームによる施設共用 最先端表面分析手法:元素分析から電子状態解析まで

著者 (9件)： 大塚俊明 ,  松尾保孝 (北大 電子科研) ,  坂入正敏 (北大 工学研究院) ,  鈴木啓太 (北大) ,  上野貢生 (北大 電子科研) ,  SUN Quan (北大 創成研究機構) ,  三澤弘明 (北大 電子科研) ,  SUBAGYO Agus (北大 創成研究機構) ,  末岡和久 (北大 大学院情報科学研究科)
資料名： 金属  (Materials Science & Technology)
巻： 86  号： 12  ページ： 1103-1111  発行年： 2016年12月01日 
JST資料番号： F0157A  ISSN： 0368-6337  CODEN： KNZKA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノオーダーで微細制御された固体デバイス・材料の開発が進むにつれ,表面分析は,機能発現のメカニズムについて情報を得る上で重要性が増しつつある。本稿では,最先端の表面分析手法である光電子分光法やスピン偏極測定について紹介した。まず,X線光電子分光法(XPS)とオージェ電子分光法(AES)など電子分光による表面分析を解説した上で,XPSの測定例(X線:MgKα線によるステンレス鋼)とAES法の測定例(ステンレス鋼AES,SBSD分析例)を紹介した。次に,収差補正光電子顕微鏡を解説(スキャニング型,直接写像型),直接写像型の測定例として,時間分解収差補正光電子顕微鏡)による測定例(金属ナノ粒子に水銀灯を垂直入射したときのPEEM像,フェムト秒レーザを照射したときに得られるPEEM像)等を紹介した。最後に,スピン偏極走査型トンネル顕微鏡の説明(STMとSP-STMの動作原理)とその測定例(磁性体表面の磁気構造の観察)を紹介した。

シソーラス用語： *表面分析 ,  X線光電子分光法 ,  Auger分光法 ,  *電子分光法 ,  収差補正 ,  電子顕微鏡観察 ,  ナノ粒子 ,  プラズモン ,  水銀ランプ ,  フェムト秒レーザ ,  *スピン分極 ,  走査型トンネル顕微鏡 ,  元素分析 ,  結晶構造 ,  電子状態 ,  プラズモニック結晶 ,  金ナノ粒子 ,  光電子顕微鏡法
準シソーラス用語： Auger電子分光法 ,  PEEM【電顕】 ,  XPS法 ,  スピン偏極

分類 (1件)： 固体の表面構造一般  (BK15010E)

タイトルに関連する用語 (11件)： 進化 ,  最先端 ,  計測 ,  解析 ,  ナノテクノロジープラットフォーム ,  施設 ,  共用 ,  表面分析 ,  手法 ,  元素分析 ,  電子状態