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J-GLOBAL ID：201602227000808280   整理番号：16A1199204

高い圧電性を有するMg-Zr共ドープ窒化アルミニウムを用いたカンチレバー形振動発電素子

Cantilever based energy harvesters using Mg-Zr-codoped aluminum nitride with high piezoelectricity

著者 (6件)： MINH Le Van (Tohoku Univ., Sendai-shi, JPN) ,  HARA Motoaki (Tohoku Univ., Sendai-shi, JPN) ,  YOKOYAMA Tsuyoshi (Taiyo Yuden Co., Ltd., Akashi-shi, JPN) ,  NISHIHARA Tokihiro (Taiyo Yuden Co., Ltd., Akashi-shi, JPN) ,  UEDA Masanori (Taiyo Yuden Mobile Technol. Co., Ltd., Ome-shi, JPN) ,  KUWANO Hiroki (Tohoku Univ., Sendai-shi, JPN)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
巻： 7th  ページ： ROMBUNNO.29pm3-PN-37  発行年： 2015年10月21日 
JST資料番号： L8358B  ISSN： 2432-9495  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MgとZrとをAlNに共ドーピングすることで,AlNの結晶に意図的にひずみを誘起し,圧電性の大幅な改善を得ることが可能である。(Mg/Zr)AlNは高い圧電性とともに低い誘電率を示し,e₃₁²/(ε₀ε)なるエナジーハーベスタの性能指数(FOM)において,一般的な圧電材料であるPZTに比し,優れた特性を提供する。この(Mg/Zr)AlNを薄膜材料としてMEMSプロセスに取り込み,高出力なマイクロカンチレバー型の振動発電素子を作成した。試作の結果,発電素子はエネルギー密度3.72mW.g^-2.cm^-3の優れた発電特性を得た。(著者抄録)

シソーラス用語： 材料 ,  薄膜 ,  *振動エネルギー ,  エネルギー変換 ,  *MEMS ,  *マグネシウム ,  *ジルコニウム ,  *ドーピング ,  *窒化アルミニウム ,  *片持梁 ,  *発電 ,  圧電材料 ,  エネルギー密度 ,  X線回折 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  振動発電 ,  共ドーピング
準シソーラス用語： 無鉛材料 ,  圧電薄膜 ,  振動エネルギーハーベスティング ,  コドーピング ,  マイクロカンチレバー

分類 (2件)： その他の発電  (NB03140M) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 圧電性 ,  Mg ,  Zr ,  ドープ ,  窒化アルミニウム ,  カンチレバー ,  振動発電素子