X線ミラー用のニッケルメッキ金型の超精密切削加工

SUZUKI Hirofumi; OKADA Mutsumi; MASUDA Yuki; NAMBA Yoshiharu; MIURA Katsuhiro; MORITA Shinya; YAMAGATA Yutaka

文献

J-GLOBAL ID：201602227589143813 整理番号：16A0577872

X線ミラー用のニッケルメッキ金型の超精密切削加工

Ultraprecision Cutting of Nickel Plated Mold for X-Ray Mirror

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資料名：
巻： 10 号： 4 ページ： 624-631 発行年： 2016年07月05日
JST資料番号： L0997B ISSN： 1881-7629 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

天文に使用されるX線望遠鏡ミラーの加工精度を向上させるため,無電解ニッケルおよび電気ニッケルの金型は,ダイヤモンド旋削される。工具摩耗及び加工精度を定量的に評価した。加工面粗さを測定し,得られる品質に関する切削条件の影響を討議した。最後に,X線ミラーの実際のニッケルメッキ金型は,テストカットであり,その形状精度及び表面粗さを測定し,評価した。これらの実験で,0.5mmRaの表面粗さおよび0.1μmP-Vの形状精度が最適切削条件下で得られることを示した,(翻訳著者抄録)

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切削一般

引用文献 (21件)：

H. Wolter, “Mirror systems with grazing incidence as image-forming optics for X-rays,” Annals of Physics, Vol.6, No.10, pp. 94-114, 1952.
Y. Namba, T. Shimomura, T. Shimizu, H. Kunieda, Y. Ogasaka, and K. Yamashita, “Development of large ultra-precision diamond turning machine for making next generation hard X-ray telescopes,” Proceedings of ASPE, pp. 65-68, 2007.
Y. Namba, T. Shimomura, A. Fushiki, A. Beaucamp, I. Inasaki, H. Kunieda, Y. Ogasaka, and K. Yamashita, “Ultra-precision polishing of electroless nickel molding dies for shorter wavelength applications,” Annals of the CIRP, Vol.57, No.1, pp. 337-340, 2008.
A. Beaucamp, Y. Namba, and R. Freeman, “Dynamic multiphase modelling and optimization of fluid jet polishing process,” Annals of the CIRP, Vol.61, No.1, pp. 315-318, 2012.
Y. Namba, T. Shimomura, A. Fushiki, A. Beaucamp, I. Inasaki, H. Kunieda, Y. Ogasaka, and K. Yamashita, “Ultra-precision polishing of electroless Nickel molding dies for shorter wave length applications,” Annals of the CIRP, Vol.57, No.1, pp. 337-340, 2008.

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