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J-GLOBAL ID：201602233077952713   整理番号：16A0942073

大気圧ペン型プラズマによるDLCの局所成膜

著者 (3件)： 吉木宏之 (鶴岡工高専) ,  佐賀井佑馬 (鶴岡工高専) ,  佐賀井佑馬 (オリックス・ファシリテ)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 77th  ページ： ROMBUNNO.15p-P6-15  発行年： 2016年09月01日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマ源 ,  *プラズマ処理 ,  薄膜成長 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  局所性
準シソーラス用語： 大気圧ペン型プラズマ ,  大気圧プラズマ

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  プラズマ装置  (BJ02082I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 大気圧 ,  ペン ,  プラズマ ,  DLC ,  成膜