文献
J-GLOBAL ID:201602237035441448
整理番号:16A1002235
MOCVD n-GaNトラップのウエーハ内面内分布
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著者 (1件):
資料名:
号:
18
ページ:
33
発行年:
2016年09月23日
JST資料番号:
L3722A
ISSN:
1344-9672
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
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