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J-GLOBAL ID：201602238582407897   整理番号：16A0564413

シリコンのレーザ穴あけのための非デジタル化回折ビームスプリッタを備えたビームデリバリーシステム

Beam delivery system with a non-digitized diffractive beam splitter for laser-drilling of silicon

著者 (2件)： Amako J. (Toyo University, 2100 Kujirai, Kawagoe, Saitama 350-8585, Japan) ,  Fujii E. (Seiko Epson Corporation, Fujimi-cho, Fujimi 281, Nagano 399-0293, Japan)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 77  ページ： 1-7  発行年： 2016年02月 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非デジタル化回折ビームスプリッタとFourier変換レンズからなるビームデリバリーシステムを報告した。システムは,インクジェットプリンタヘッドの製造において,ナノ秒パルスレーザを利用したシリコンの深い穴あけに適用された。このプロセスでは,円偏光パルスビームは,均一なビームアレイに分割され,次に,プロセス点に正確に供給された。これらの必要条件を満たすために,スプリッタは,効率95%以上で,偏光独立であるように設計された。光学素子を集積し,ビームの波面曲率を調節することによって有効全体焦点距離の微同調できた。幅12mmのビームアレイにおいて,このシステムを利用し,ビームアラインメント精度5μm以下を達成し,スループット(約1分でシリコンウェハにおいて10000ポイントを穴あけ)を実質的に改善した。このビームデリバリー方法は,並列処理を必要とする様々なレーザ用途で動作する。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *配光 ,  *レーザビーム ,  *ビームスプリッタ ,  光回折 ,  改変 ,  *レーザ穴あけ ,  *ケイ素 ,  システム ,  Fourier変換 ,  レンズ ,  ジェットプリンタ ,  インクジェット印刷 ,  パルスレーザ ,  ナノ秒 ,  円偏光 ,  アレイ ,  必要条件 ,  回折効率 ,  光学設計 ,  光学素子 ,  波面 ,  曲率 ,  焦点距離 ,  同調 ,  アラインメント ,  スループット ,  並列処理
準シソーラス用語： インクジェットプリンタ ,  ディジタル化 ,  *ビームデリバリーシステム

著者キーワード (5件)： Beam delivery optics ,  Diffractive beam splitters ,  Beam array ,  Laser materials processing ,  High-power lasers

分類 (2件)： レーザ一般  (BD04030T) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (7件)： シリコン ,  レーザ穴あけ ,  デジタル化 ,  回折 ,  ビームスプリッタ ,  ビーム ,  デリバリーシステム