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J-GLOBAL ID：201602243680824280   整理番号：16A1028159

環境セル型透過電子顕微鏡a-SiCN隔膜への窒素プラズマ照射による効果

著者 (3件)： 村野正典 (近畿大 大学院) ,  松谷貴臣 (近畿大) ,  川崎忠寛 (ファインセラミックスセ)
資料名： 電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集(CD-ROM)  (電気学会基礎・材料・共通部門大会(CD-ROM))
巻： 2016  ページ： ROMBUNNO.5-P-9  発行年： 2016年09月05日 
JST資料番号： L3783B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *透過型電子顕微鏡 ,  *隔膜 ,  プラズマ ,  気相反応 ,  ケイ素化合物 ,  炭化物 ,  窒化物 ,  薄膜成長 ,  高分解能 ,  厚み ,  *プラズマ曝露 ,  パルスプラズマ ,  炭窒化ケイ素
準シソーラス用語： 平坦化

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 環境 ,  セル ,  透過電子顕微鏡 ,  隔膜 ,  窒素プラズマ