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J-GLOBAL ID：201602247193680916   整理番号：16A0657367

ウエハ再検討と時間制約のある単一アームクラスタツールの最適スケジューリング【Powered by NICT】

Optimal scheduling of time-constrained single-arm cluster tools with wafer revisiting

著者 (4件)： Liu ZiCheng (Department of Industrial Engineering, School of Electro-Mechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China) ,  Wu NaiQi (Institute of Systems Engineering, Macau University of Science and Technology, Taipa, China) ,  Yang FaJun (Department of Industrial Engineering, School of Electro-Mechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China) ,  Qiao Yan (Institute of Systems Engineering, Macau University of Science and Technology, Taipa, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： WODES  ページ： 355-360  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ウエハ滞留時間制約を満足するようなウエハ再検討と単一アームクラスタツールのスケジューリングは非常に困難である。本論文では,原子層堆積(ALD)プロセスを用いた単一アームクラスタツールのためのこの挑戦課題に関する研究を行った。適用されているいわゆるp後方戦略により,システムの動的挙動を記述するために開発されたPetriネットモデル。モデルに基づいて,実現可能なスケジュールの存在を解析し,スケジュール可能性条件を導出し,スケジュールであればスケジューリングアルゴリズムを提案した。スケジュールを簡単にロボット待ち時間を設定することにより得られ,それは非常に計算効率が良い。得られたスケジュールが最適であることを示した。説明用例題を用いて提案した方法を実証した。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 待ち時間 ,  *制約条件 ,  Petriネット ,  *スケジューリング ,  ロボット ,  滞留時間
準シソーラス用語： 計算効率 ,  スケジューリングアルゴリズム ,  動的挙動 ,  *最適スケジューリング ,  *時間制約 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： ウエハ ,  時間制約 ,  クラスタツール ,  最適スケジューリング