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J-GLOBAL ID：201602249462846477   整理番号：16A0564688

ボールレンズターゲットを用いた光コムパルス干渉計を用いた座標測定機の検証の空間中対角線

Diagonal in space of coordinate measuring machine verification using an optical-comb pulsed interferometer with a ball-lens target

著者 (4件)： Sudatham Wiroj (Department of Precision Engineering, The University of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Matsumoto Hirokazu (Department of Precision Engineering, The University of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Takahashi Satoru (Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo, Komaba 4-6-1, Meguro, Tokyo 153-8904, Japan) ,  Takamasu Kiyoshi (Department of Precision Engineering, The University of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 43  ページ： 486-492  発行年： 2016年01月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿は,座標測定機(CMM)検証のための,新規の光学手法を提示する。提案システムは,ボールレンズをターゲットに使用する,単一モード光コムパルス干渉計に基づくもので,ターゲットは,全方向の絶対長さ測定に使用できる。レーザ光源は光周波数コムで,その反復率は,ルビジウム周波数基準により安定化される。測定範囲は10mまで確認されている。提案法によって,CMMの対角線は,通常のアーチファクト検査法よりも,検証が容易になる。提案法の測定不確かさは,また通常法のものよりも小さい。その理由は,提案測定システムが,大気温度による影響が少ないことによる。それは測定長10mに対して,不確かさ約7μmを実現する。実験結果は,干渉縞中の,空気流変動と機械的振動から生ずる外乱に依存することを示した。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 周波数 ,  対角化 ,  *レンズ ,  *座標測定機 ,  *干渉計 ,  ターゲット ,  光源 ,  アーチファクト ,  不確実性 ,  干渉縞
準シソーラス用語： レーザー光源 ,  球面レンズ ,  光コム

著者キーワード (5件)： Optical comb ,  Pulsed interferometer ,  Length measurement ,  Coordinate measuring machine ,  CMM verification

分類 (1件)： 切削一般  (QC02010V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 光コム ,  パルス ,  干渉計 ,  座標測定機 ,  検証