文献

J-GLOBAL ID：201602250146175065   整理番号：16A1280669

マイクロピラーアレイを用いた高感度MEMS気流せん断応力センサ

著者 (6件)： 高橋英俊 (東大) ,  風間涼平 (東大) ,  NGUYEN Thanh-Vinh (東大) ,  高畑智之 (東大) ,  松本潔 (東洋大) ,  下山勲 (東大)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 33rd  ページ： ROMBUNNO.25am2-PS-059  発行年： 2016年 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 微細構造 ,  柱状晶 ,  高感度 ,  センサ ,  *MEMS ,  気流 ,  *剪断応力 ,  電気抵抗 ,  *圧抵抗効果 ,  摩擦抵抗
準シソーラス用語： MEMSセンサ ,  マイクロピラー ,  *圧電抵抗 ,  応力センサ

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (5件)： ピラーアレイ ,  高感度 ,  MEMS ,  気流 ,  せん断応力