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J-GLOBAL ID：201602250804831692   整理番号：16A0446837

同一平面内を高速位置決めするXYステージの基礎特性

著者 (5件)： 櫻田陽 (秋田県産技セ) ,  荒川亮 (秋田県産技セ) ,  森英季 (秋田県産技セ) ,  長縄明大 (秋田大 工学資源) ,  渋谷嗣 (秋田大 工学資源)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2015  ページ： ROMBUNNO.S1620204  発行年： 2015年09月12日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,積層型圧電素子を組み合わせた平行バネとてこ機構で構成されるXYステージを著者らはナノモーションステージ(NMS:Nano-Motion Stage)と呼び,研究開発を進めてきた,走査型プローブ顕微鏡では,高速な動作とナノスケールの位置決め精度を有しながら同一の平面内を移動する機構が要求されている。NMSは,走査型プローブ顕微鏡の試料ステージに搭載することを想定し,XY方向の最大変位量が約100μmを実現する同一平面内を高速に走査するXYステージの基本構造と制御性能について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *位置決め ,  位置決め装置 ,  *圧電素子 ,  *梃子 ,  研究開発 ,  *走査型プローブ顕微鏡 ,  *半導体集積回路 ,  *ばね ,  *高速度
準シソーラス用語： *X-Yステージ ,  ナノスケール ,  位置決め精度 ,  基本構造

分類 (1件)： 光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R)

タイトルに関連する用語 (2件)： XYステージ ,  基礎