Yan Yong について
Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), Dalian University of Technology, Dalian, China について
Zhou Dayu について
Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), Dalian University of Technology, Dalian, China について
Zhou Dayu について
State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu, China について
Guo Chunxia について
Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), Dalian University of Technology, Dalian, China について
Department of Electronic Engineering, Dalian Neusoft University of Information, Dalian, China について
Yang Xirui について
Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), Dalian University of Technology, Dalian, China について
Liang Hailong について
Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), Dalian University of Technology, Dalian, China について
Zhou Fangyang について
Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), Dalian University of Technology, Dalian, China について
Chu Shichao について
Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), Dalian University of Technology, Dalian, China について
Liu Xiaoying について
Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), Dalian University of Technology, Dalian, China について
Journal of Sol-Gel Science and Technology について
ハフニウム化合物 について
ジルコニウム化合物 について
酸化物 について
薄膜 について
ゾル-ゲル法 について
水溶液 について
前駆体 について
膜厚 について
発展 について
相 について
誘電性 について
依存性 について
ウエハ【IC】 について
スピンコーティング について
晶出温度 について
密度 について
モルフォロジー について
表面構造 について
結晶構造 について
化学結合 について
熱処理 について
正方晶系 について
安定性 について
単斜晶系 について
相組成 について
表面エネルギー について
電流密度 について
漏れ電流 について
塩化物 について
酸素化合物 について
アンモニア について
過酸化水素 について
硝酸 について
オキシ塩化ハフニウム について
ケイ素基板 について
ゾル-ゲル膜 について
塩化ジルコニル について
厚み依存性 について
相発達 について
熱アニーリング について
表面形態 について
漏れ電流密度 について
Hf0.5Zr0.5O2 thin films について
Aqueous precursor について
Phase transition について
Thickness dependence について
Dielectric property について
非金属材料へのセラミック被覆 について
酸化物薄膜 について
前駆体 について
調製 について
薄膜 について
発達 について
誘電性質 について