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J-GLOBAL ID：201602260368535760   整理番号：11A1726560

An efficient dose-compensation method for proximity effect correction

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著者 (6件)：
Wang Ying

Wang Ying について

(Res. Center of Semiconductor Integrated Technol., Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sciences, Beijing)

Res. Center of Semiconductor Integrated Technol., Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sciences, Beijing について

, 
Han Weihua

Han Weihua について

(Res. Center of Semiconductor Integrated Technol., Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sciences, Beijing)

Res. Center of Semiconductor Integrated Technol., Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sciences, Beijing について

, 
Yang Xiang

Yang Xiang について

(Res. Center of Semiconductor Integrated Technol., Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sciences, Beijing)

Res. Center of Semiconductor Integrated Technol., Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sciences, Beijing について

, 
Zhang Renping

Zhang Renping について

(Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sciences State Key Lab. for Superlattices and Microstructures, Beijing)

Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sciences State Key Lab. for Superlattices and Microstructures, Beijing について

, 
Zhang Yang

Zhang Yang について

(Res. Center of Semiconductor Integrated Technol., Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sciences, Beijing)

Res. Center of Semiconductor Integrated Technol., Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sciences, Beijing について

, 
Yang Fuhua

Yang Fuhua について

(Res. Center of Semiconductor Integrated Technol., Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sciences State Key Lab. ...)

Res. Center of Semiconductor Integrated Technol., Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sciences State Key Lab. ... について


資料名：
Journal of Semiconductors  (Journal of Semiconductors)

Journal of Semiconductors について


巻： 31  号： 8  ページ： 86001-1-86001-4  発行年： 2010年 
JST資料番号： C2377A  ISSN： 1674-4926  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

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