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J-GLOBAL ID：201602263652197089   整理番号：16A1227166

高密度CMOSアンペロメトリック電気化学センサアレイのための良好な形状の微小電極アレイ構造

Well-Shaped Microelectrode Array Structure for High-Density CMOS Amperometric Electrochemical Sensor Array

著者 (5件)： NIITSU Kiichi (Graduate School of Engineering, Nagoya University) ,  NIITSU Kiichi (JST) ,  KUNO Tsuyoshi (Graduate School of Engineering, Nagoya University) ,  TAKIHI Masayuki (Graduate School of Engineering, Nagoya University) ,  NAKAZATO Kazuo (Graduate School of Engineering, Nagoya University)
資料名： IEICE Transactions on Electronics (Web)  (IEICE Transactions on Electronics (Web))
巻： E99.C  号： 6  ページ： 663-666(J-STAGE)  発行年： 2016年 
JST資料番号： U0468A  ISSN： 1745-1353  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,高密度の相補型金属酸化物半導体アンペロメトリック電気化学センサアレイを作製するための良好な形状の微小電極アレイ(MEA)を設計して検証した。補助電極を良好な形状のMEA構造と集積することにより,面積を低減し,高密度かつ高分解能を実現した。3次元電気化学シミュレーションの結果から,提案MEA構造の有効性及び従来の2次元構造よりも4倍の高密度化の可能性を確認した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *電気化学センサ ,  センサアレイ ,  *微小電極 ,  電極 ,  緻密化 ,  高分解能 ,  シミュレーション ,  *半導体 ,  *CMOS
準シソーラス用語： *アンペロメトリックセンサ ,  *微小電極アレイ ,  補助電極 ,  高密度化 ,  3Dシミュレーション

著者キーワード (6件)： MEA ,  CMOS ,  analog circuit ,  amperometry ,  electrochemical sensor ,  3D structure

分類 (3件)： 電気化学一般  (CB07010N) ,  計測機器一般  (AD02000X) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

引用文献 (8件)：

• [1] B.N. Kim, A.D. Herbst, S.J. Kim, B.A. Minch, and M. Lindau, “Parallel recording of neurotransmitters release from chromaffin cells using a 10 × 10 CMOS IC potentiostat array with on-chip working electrodes,” Biosensors and Bioelectronics, vol.41, pp.736-744, March 2013.
• [2] H. Tanaka, P. Fiorini, S. Peeters, B. Majeed, T. Sterken, M.O.D. Beeck, M. Hayashi, H. Yaku, and I. Yamashita, “Sub-micro-liter electrochemical single-nucleotide-polymorphism detector for lab-on-a-chip system,” Jpn. J. Appl. Phys., vol.51, 04DL02 (6 pages), April 2012.
• [3] K. Ino, W. Saito, M. Koide, T. Umemura, H. Shiku, and T. Matsue, “Addressable electrode array device with IDA electrodes for high-throughput detection,” Lab on Chip, vol.11, no.3, pp.385-388, Feb. 2011.
• [4] J. Hasegawa, S. Uno, and K. Nakazato, “Amperometric electrochemical sensor array for on-chip simultaneous imaging: circuit and microelectrode design considerations,” Jpn. J. Appl. Phys., 50, 04DL03, April 2011.
• [5] T. Kuno, K. Niitsu, and K. Nakazato, “Amperometric electrochemical sensor array for on-chip simultaneous imaging,” Jpn. J. Appl. Phys., vol.53, 04EL01 (7 pages), Feb. 2014.

タイトルに関連する用語 (4件)： CMOS ,  電気化学センサ ,  アレイ ,  微小電極アレイ