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J-GLOBAL ID：201602263661176263   整理番号：16A0568057

マイクロウェーブ励起プラズマ強化型化学蒸着法で積層されたダイヤモンドライクカーボン薄膜のトライボロジー特性に及ぼす基板バイアスの影響

Effects of Substrate Bias on Tribological Properties of Diamondlike Carbon Thin Films Deposited Via Microwave-Excited Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

著者 (4件)： KHUN Nay Win (Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP) ,  NEVILLE Anne (Univ. Leeds, Leeds, GBR) ,  KOLEV Ivan (IHI Hauzer Techno Coating, Venlo, NLD) ,  ZHAO Hongyuan (Univ. Leeds, Leeds, GBR)
資料名： Journal of Tribology  (Journal of Tribology)
巻： 138  号： 3  ページ： 031301.1-031301.6  発行年： 2016年07月 
JST資料番号： B0901A  ISSN： 0742-4787  CODEN： JOTRE9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は,様々な優れた特性を有するので自動車産業で広く使われているが,エンジン等耐久性を要求される部位では厚い膜が必要なので,一般的な物理蒸着法でなく化学蒸着法(CVD)でDLC膜を作製している。本論文では,マイクロウェーブ励起プラズマ強化型CVD(μW-PECVD)の適用のフィージビリティを調べた。鉄鋼基板上にタングステンカーバイド中間層を介してDLC膜を蒸着させる過程で,負の基板バイアスを変化させた。負の基板バイアスを増大させるとDLC膜の摩擦と摩耗が減少することを確認した。

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  プラズマ ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  *薄膜 ,  性質 ,  特性 ,  *マイクロ波プラズマ ,  *トライボロジー特性

分類 (2件)： 潤滑一般  (QB02010S) ,  気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (9件)： マイクロウェーブ ,  励起 ,  プラズマ ,  強化 ,  化学蒸着法 ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  薄膜 ,  トライボロジー特性 ,  基板バイアス