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J-GLOBAL ID：201602265831862107   整理番号：16A0973878

乾式環境下でのダイヤモンドの高能率・高精度加工法の開発-オゾンを利用した方法の提案-

著者 (3件)： 久保田章亀 (熊本大 大学院先端科学研究部) ,  横井裕之 (熊本大 大学院先端科学研究部) ,  峠睦 (熊本大 先進マグネシウム国際研究セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2016  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.E76  発行年： 2016年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,ダイヤモンドは,次世代パワー半導体デバイス用基板や切削工具,超硬合金金型の代替型などの幅広い分野での応用が期待されている。しかしながら,ダイヤモンドは高硬度で,化学的に不活性なため,加工が非常に難しい。このような背景のもと,われわれは,乾式環境下でのダイヤモンドの高能率・高精度加工法の開発を進めている。本報告では,オゾンを利用したダイヤモンド基板の高能率加工法を提案する。(著者抄録)

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  *基板 ,  半導体素子 ,  パワーエレクトロニクス ,  *ドライエッチング ,  *精密加工 ,  *研磨 ,  *励起 ,  平坦性 ,  表面粗さ ,  *オゾン

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (7件)： 環境 ,  ダイヤモンド ,  高能率 ,  高精度加工 ,  開発 ,  オゾン ,  提案