研究者

J-GLOBAL ID：200901046419813158 更新日: 2024年11月21日

久保田章亀

クボタアキヒサ | Kubota Akihisa

所属機関・部署：
職名：准教授

研究分野 (2件)：材料加工、組織制御 , 加工学、生産工学

研究キーワード (4件)：超精密加工 , 表面 , 研磨 , 精密加工

競争的資金等の研究課題 (13件)：

2023 - 2026 トライボプラズマを援用したダイヤモンド基板の高能率ドライエッチング法の開発
2018 - 2021 紫外光/オゾンを援用したダイヤモンド基板の高効率ウエット加工法の開発
2014 - 2017 紫外光励起研磨によるダイヤモンドウェハおよび工具の高度化技術の開発
2017 - 次世代パワーデバイス用窒化ガリウム基板の超精密研磨技術の開発
2013 - 2015 次世代パワーデバイス用ダイヤモンド基板の高能率加工プロセスの開発

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論文 (63件)：

Kouki Hasegawa, Shigeru Tanaka, Keiji Kasamura, Nejc Novak, Akihisa Kubota, Kazuyuki Hokamoto. Uniformity of planar shock waves generated by vaporizing foil actuator and its application to microfabrication. The International Journal of Advanced Manufacturing Technology. 2024
Takumi Egashira, Shigeru Tanaka, Kouki Hasegawa, Akihisa Kubota, Kazuyuki Hokamoto. Experimental study on the application of PET thin-film optical sheets in shock imprinting technology. Science and Technology of Energetic Materials. 2024. 84. 6. 87-89
Kouki Hasegawa, Shigeru Tanaka, Daisuke Inao, Masatoshi Nishi, Akihisa Kubota, Kazuyuki Hokamoto. Dynamic compression of a polymer stamper using high-impulse underwater shock waves to imprint a sub-micrometer structure on a metal plate surface. Journal of Materials Research and Technology. 2023. 24. 6730-6738
Kouki Hasegawa, Shigeru Tanaka, Ivan Bataev, Daisuke Inao, Matatoshi Nishi, Akihisa Kubota, Kazuyuki Hokamoto. Toward a Better Understanding of Shock Imprinting with Polymer Molds Using a Combination of Numerical Analysis and Experimental Research. Materials. 2022. 15. 5. 1727-1727
Shuichi Hiza, Ken Imamura, Yusuke Shirayanagi, Koji Yoshitsugu, Yuki Takiguchi, Kunihiko Nishimura, Hideki Takagi, Hideaki Yamada, Akihisa Kubota, Mikio Yamamuka. Development of GaN-on-Diamond HEMT Using Diamond Substrate with Large Area. IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems. 2022. 142. 3. 354-359

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MISC (71件)：

田北隆浩, 久保田章亀, 峠睦. 705 紫外光援用研磨による2インチ単結晶SiCウエハの平坦化. 日本機械学会九州支部講演論文集. 2014. 2014. 67. "705-1"-"705-2"
久保田章亀, 吉村奨彦, 一森佑也, 中西義孝, 峠睦. 鉄微粒子を用いた2インチ単結晶4H-SiC基板のダメージフリー平坦化. 精密工学会大会学術講演会講演論文集. 2011. 2011. ROMBUNNO.G13
松浦達己, 中西義孝, 日垣秀彦, 三浦裕正, 峠睦, 久保田章亀, 岩本幸英. 表面テクスチャリングを施した人工関節表面がトライボロジー特性に与える影響. バイオエンジニアリング講演会講演論文集. 2011. 23rd. 23. 579-580
猿渡佑生, 中西義孝, 水田博志, 瀬井章, 砥上若菜, 日垣秀彦, 峠睦, 久保田章亀. 複数のプラスチックを併用した人工椎体の開発. バイオエンジニアリング講演会講演論文集. 2011. 23rd. 23. 499-500
甲斐慎太郎, 中西義孝, 峠睦, 久保田章亀, 水元郁朗, 公文誠, 水田博志, 中村栄一, 日垣秀彦. 膝動態の6自由度測定システムの開発. バイオエンジニアリング講演会講演論文集. 2011. 23rd. 23. 569-570

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特許 (12件)：

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書籍 (5件)：

紫外光/真空紫外光を利用したダイヤモンドの研磨技術
2023
物理化学ナノ製造プロセスの最前線単結晶ダイヤモンド基板のドライ/ウエット加工法
2023
ダイヤモンド表面の超高精度加工技術と高放熱デバイスへの応用
2022
難加工半導体材料の高精度研磨法の開発 (特集化学機械研磨の最新技術)
日本トライボロジー学会 ; 1989- 2014
ワイドバンドギャップ半導体基板の原子スケール平坦化加工 (特集次世代を創る革新技術の創成)
小峰工業出版 2014

講演・口頭発表等 (157件)：

ダイヤモンド放熱基板を用いたGaN HEMTの開発
(電子情報通信学会技術研究報告(Web) 2024)
小径ダイヤモンド電着砥石のトランケーション評価方法の検討
(精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2024)
PCD製切削工具の刃先鋭利化における加熱援用研磨の効果
(精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2024)
大面積CVDダイヤモンド基板の高精度研磨への取り組み
(精密工学会大会学術講演会講演論文集 2023)
粗粒ダイヤモンド電着砥石の切れ刃トランケーションに関する研究
(精密工学会大会学術講演会講演論文集 2023)

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学歴 (3件)：

2002 - 2005 大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻博士後期課程
2000 - 2002 大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻博士前期課程
1996 - 2000 大阪大学工学部応用自然科学科

学位 (1件)：

博士(工学) (大阪大学)

経歴 (6件)：

2020/04 - 現在熊本大学産業ナノマテリアル研究所准教授(併任)
2016/04 - 現在熊本大学大学院先端科学研究部准教授
2012/06 - 2016/03 熊本大学大学院自然科学研究科(工学系)先端機械システム准教授
2007/04 - 2012/05 熊本大学大学院自然科学研究科(工学系)先端機械システム助教
2005 - 2006 熊本大学工学部助手

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受賞 (9件)：

2016/06 - 平成27年度第37次工作機械技術論文賞
2015/06 - 平成26年度第36次工作機械技術論文賞
2015/03 - 平成26年度砥粒加工学会論文賞
2014/11 - 熊本大学研究活動表彰
2013 - 平成24年度第34次工作機械技術振興賞(奨励賞)

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所属学会 (4件)：

応用物理学会 , 砥粒加工学会 , 日本機械学会 , 精密工学会

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