文献

J-GLOBAL ID：201602265941573917   整理番号：16A1337086

高品位プレス成形品を生み出す寸法・形状測定&分析・検査の基礎技術 第8回 表面特性の測定と分析(2)プレス成形の評価・解析に役立つ表面分析

著者 (2件)： 玉置賢次 (東京都産業技術研究セ) ,  中村健太 (東京都産業技術研究セ)
資料名： プレス技術  (Press Working)
巻： 55  号： 1  ページ： 86-91  発行年： 2017年01月01日 
JST資料番号： G0871A  ISSN： 0387-3544  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プレス成形の表面の機能のメカニズムの解明や不具合の解析には,表面分析が必要となる。そこで「表面特性の測定と分析」の2回目となる今回は,表面分析について解説した。表面分析を前提として表面を観察するときには,走査電子顕微鏡(SEM)が用いられると述べ,このSEMについて,その構造,機能,特徴等を概説した。また,表面分析で最も多く用いられている,電子線を用いたエネルギー分散型X線分光分析(EDXまたはEDS)を取り上げて,その分析の方法等を概説した。更に,オージェ電子の脱出深さが表面から数nmの範囲で,EDSが対象としている特性X線の数μmよりもずっと浅いため最表面の情報を得ることができるオージェ電子分光分析(AES),表面の化合物の分析に用いられるX線光電子分光分析(XPS),炭素系硬質膜の構造解析に用いられるラマン分光分析を紹介し,それらについて概説した。

シソーラス用語： *形状測定 ,  分析 ,  検査 ,  *表面性状 ,  *表面分析 ,  *走査電子顕微鏡 ,  電子ビーム ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  X線分光分析 ,  Auger分光法 ,  *構造解析 ,  Raman分光分析
準シソーラス用語： Auger電子 ,  Auger電子分光分析 ,  *プレス成形 ,  硬質膜 ,  高品位 ,  *寸法測定

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (11件)： 高品位 ,  プレス成形品 ,  形状測定 ,  分析 ,  検査 ,  基礎 ,  表面特性 ,  プレス成形 ,  評価 ,  解析 ,  表面分析