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J-GLOBAL ID：201602268560873428   整理番号：16A0865032

2重パルス照射によって制御された周期格子の方位

Orientation of periodic grating structures controlled by double-pulse irradiation

著者 (12件)： Hashida Masaki (Advanced Research Center for Beam Science, Institute for Chemical Research, Kyoto University, Uji, Kyoto, Japan) ,  Hashida Masaki (Department of Physics, Graduate School of Science, Kyoto University, Sakyo, Kyoto, Japan) ,  Nishii Takaya (Advanced Research Center for Beam Science, Institute for Chemical Research, Kyoto University, Uji, Kyoto, Japan) ,  Nishii Takaya (Department of Physics, Graduate School of Science, Kyoto University, Sakyo, Kyoto, Japan) ,  Miyasaka Yasuhiro (Advanced Research Center for Beam Science, Institute for Chemical Research, Kyoto University, Uji, Kyoto, Japan) ,  Miyasaka Yasuhiro (Department of Physics, Graduate School of Science, Kyoto University, Sakyo, Kyoto, Japan) ,  Sakagami Hitoshi (National Institute for Fusion Science, Toki, Gifu, Japan) ,  Shimizu Masahiro (Department of Material Chemistry, Graduate School of Engineering, Kyoto University, Kyoto, Japan) ,  Inoue Shunsuke (Advanced Research Center for Beam Science, Institute for Chemical Research, Kyoto University, Uji, Kyoto, Japan) ,  Inoue Shunsuke (Department of Physics, Graduate School of Science, Kyoto University, Sakyo, Kyoto, Japan) ,  Sakabe Shuji (Advanced Research Center for Beam Science, Institute for Chemical Research, Kyoto University, Uji, Kyoto, Japan) ,  Sakabe Shuji (Department of Physics, Graduate School of Science, Kyoto University, Sakyo, Kyoto, Japan)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 122  号： 4  ページ： Article:484,1-5  発行年： 2016年04月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： チタン表面をΔτ=0~1psの遅延時間によって交差偏光2重パルスビームを照射することによってレーザ誘起周期表面構造(LIPSS)の形成を実証した。第1パルスフルエンスF₁と遅延パルスフルエンスF₂はTi上の周期格子構造の形成閾値F_TH=65mJ/cm²以下に保たれた。両方の偏光に対して45°のLIPSS方位の周期格子構造が0fsと120fsの遅延時間によって作り出されたことを見出した。LIPSS方位を制御するために,F₁=70mJ/cm²の一定フルエンスを維持する第1パルスとF₂=0-70mJ/cm²の範囲で変化する遅延パルスからなる遅延時間0fsの2重パルスビームを実証した。LIPSS方位は0°~45°の範囲で,正規化フルエンスF₂/F₁の減少と共に減少した。2重パルス照射によって生成されたLIPSSの方位はレーザ場E⁴₁とE⁴₂のベクトル和によって得られた方向と相対的に良く一致した。この傾向は金属表面での多光子プロセスがLIPSS方位を特性づけていることを示唆している。Copyright 2016 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated into Japanese from English by JST.

シソーラス用語： *パルスレーザ照射 ,  *周期雑音 ,  *表面構造 ,  *チタン ,  フルエンス ,  時間 ,  *パルス法 ,  過程 ,  レーザビーム ,  フェムト秒 ,  偏光
準シソーラス用語： レーザフルエンス ,  遅延時間 ,  *ダブルパルス法 ,  多光子過程

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (4件)： パルス照射 ,  周期 ,  格子 ,  方位