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J-GLOBAL ID:201602268560873428   整理番号:16A0865032

2重パルス照射によって制御された周期格子の方位

Orientation of periodic grating structures controlled by double-pulse irradiation
著者 (12件):
資料名:
巻: 122  号:ページ: Article:484,1-5  発行年: 2016年04月 
JST資料番号: D0256C  ISSN: 0947-8396  CODEN: APHYCC  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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チタン表面をΔτ=0~1psの遅延時間によって交差偏光2重パルスビームを照射することによってレーザ誘起周期表面構造(LIPSS)の形成を実証した。第1パルスフルエンスF1と遅延パルスフルエンスF2はTi上の周期格子構造の形成閾値FTH=65mJ/cm2以下に保たれた。両方の偏光に対して45°のLIPSS方位の周期格子構造が0fsと120fsの遅延時間によって作り出されたことを見出した。LIPSS方位を制御するために,F1=70mJ/cm2の一定フルエンスを維持する第1パルスとF2=0-70mJ/cm2の範囲で変化する遅延パルスからなる遅延時間0fsの2重パルスビームを実証した。LIPSS方位は0°~45°の範囲で,正規化フルエンスF2/F1の減少と共に減少した。2重パルス照射によって生成されたLIPSSの方位はレーザ場E41とE42のベクトル和によって得られた方向と相対的に良く一致した。この傾向は金属表面での多光子プロセスがLIPSS方位を特性づけていることを示唆している。Copyright 2016 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated into Japanese from English by JST.
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分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  レーザ照射・損傷 
タイトルに関連する用語 (4件):
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