抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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加湿速度や結露の視認性などに大きな影響及ぼすものながら,これまで簡易に計測することが難しかった空気中に存在する微小な水分の大きさに関して,小型で高精度にかつ短時間に計測可能なセンサを紹介する。このセンサは異なる金属を電解液に浸すと電流が発生するガルバニ作用を利用するもので,水滴の接触と同時に電流が流れるため応答が早い特徴がある。まず計測の原理を解説し半導体微細加工技術により作製したセンサの仕様について説明した後,このセンサによる水滴径の計測における水滴サイズと電極間隔と応答電流との関係を解説し,電極間隔を適切に制御配置したセンサを作製することによって水滴のサイズを極めて高感度に判別できることを示した。