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J-GLOBAL ID：201602278452944830   整理番号：16A1003288

酸化インジウムスズ膜の光学的および電気的特性に及ぼすスパッタリングパワーの影響

Effect of Sputtering Power on Optical and Electrical Properties of Indium Tin Oxide Films

著者 (2件)： HER Shiuh-Chuan (Yuan Ze Univ., Chung-Li, TWN) ,  CHANG Chun-Fu (Yuan Ze Univ., Chung-Li, TWN)
資料名： Sensors and Materials  (Sensors and Materials)
巻： 28  号： 9  ページ： 975-981  発行年： 2016年 
JST資料番号： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *酸化インジウムスズ ,  酸化物 ,  薄膜 ,  *光学的性質 ,  *電気的性質 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  基板 ,  電気装置部品 ,  電気伝導率 ,  微細構造 ,  表面粗さ ,  光透過 ,  透過率 ,  透明度
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  酸化物薄膜

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 酸化インジウムスズ ,  光学 ,  電気的特性 ,  スパッタリング ,  パワー