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J-GLOBAL ID：201602287328759293   整理番号：16A0573151

金ナノグレーティング構造の静電駆動による光位相変調

Optical phase modulation using electrostatically-driven Au nanograting

著者 (5件)： 木下卓哉 (東京農工大) ,  志村崇 (東京農工大) ,  石井美帆 (東京農工大) ,  岩見健太郎 (東京農工大) ,  梅田倫弘 (東京農工大)
資料名： 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： MSS-16  号： 9-10.12-17  ページ： 7-10  発行年： 2016年06月29日 
JST資料番号： L2898B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光位相変調素子を電子ホログラフィー用SLMとして用いるため,動作速度向上が必要である。静電アクチュエータと金ナノグレーティングを組み合わせた光位相変調素子を提案・試作した。光学特性の評価を行い,グレーティング構造による位相変調と電圧印加時の位相差の変化を確認した。

シソーラス用語： 金 ,  ナノ構造 ,  *回折格子 ,  *静電気 ,  駆動 ,  *位相変調 ,  *空間光変調素子 ,  *複屈折 ,  *アクチュエータ ,  格子構造 ,  電磁場解析 ,  解析モデル ,  電子ビームリソグラフィー ,  ホログラフィー ,  立体画像 ,  遅れ ,  静電アクチュエータ ,  位相差 ,  電子線ホログラフィー ,  位相遅れ
準シソーラス用語： 静電駆動 ,  SLM【変調素子】 ,  電子ホログラフィー ,  位相遅延

分類 (1件)： 光変調器  (BD06020W)

引用文献 (6件)：

• S.-Y. Hsu, K.-L. Lee, E.-H. Lin, M.-C. Lee, and P.-K. Wei: "Giant birefringence induced by plasmonic nanoslit arrays", Appl. Phys. Lett., 95, 013105 (2009)
• K. Iwami, M. Ishii, Y. Kuramochi, K. Ida, and N. Umeda : "Ultrasmall radial polarizer array based on patterned plasmonic nanoslits", Appl. Phys. Lett., 101, 161119 (2012).
• M. Ishii, K. Iwami and N. Umeda : "An Au nanofin array for high efficiency plasmonic optical retarders at visible wavelengths", Appl. Phys. Lett., 106, 021115 (2015).
• M. Ishii, K. Iwami and N. Umeda : "Highly-efficient and angle-independent zero-order half waveplate at broad visible wavelength based on Au nanofin array embedded in dielectric", Opt. Express, Vol. 24, Issue 8, pp. 7966-7976 (2016).
• T. Shimura, M. Ishii, K. Iwami, H. Nagasaki and N. Umeda : "Birefringence modulation of thermally driven metal nanograting", Proc. SPIE, Vol. 9544, pp. 95441K.1-95441K.6 (2015)

タイトルに関連する用語 (5件)： 金 ,  グレーティング ,  静電駆動 ,  光位相 ,  変調