Fei Chenxi について
Key Laboratory for Wide-Band Gap Semiconductor Materials and Devices of Education, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, China について
Liu Hongxia について
Key Laboratory for Wide-Band Gap Semiconductor Materials and Devices of Education, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, China について
Wang Xing について
Key Laboratory for Wide-Band Gap Semiconductor Materials and Devices of Education, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, China について
Zhao Dongdong について
Key Laboratory for Wide-Band Gap Semiconductor Materials and Devices of Education, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, China について
Wang Shulong について
Key Laboratory for Wide-Band Gap Semiconductor Materials and Devices of Education, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, China について
Journal of Materials Science. Materials in Electronics について
多層構造 について
薄膜 について
RTA【熱処理】 について
単原子層 について
化学蒸着 について
酸化アルミニウム について
酸化ランタン について
ケイ素 について
原子間力顕微鏡 について
容量電圧特性 について
X線光電子分光法 について
透過型電子顕微鏡 について
前駆体 について
アニーリング【現象】 について
表面粗さ について
誘電率 について
電気特性 について
安定性 について
化学結合 について
急速熱アニーリング について
原子層堆積 について
酸化物薄膜 について
原子層堆積 について
堆積 について
Al2O3 について
La2O3 について
Si について
Si膜 について
急速熱アニーリング について