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J-GLOBAL ID：201602295414047353   整理番号：16A1183620

新しい微細製造技術としての塑性変形により誘起された高アスペクト比リッジ構造

High-Aspect-Ratio Ridge Structures Induced by Plastic Deformation as a Novel Microfabrication Technique

著者 (4件)： TAKEI Atsushi (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  FUJITA Hiroyuki (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  JIN Lihua (Univ. California, California, USA) ,  JIN Lihua (Stanford Univ., California, USA)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 8  号： 36  ページ： 24230-24237  発行年： 2016年09月14日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高いアスペクト比の表面構造を生成するための方法を示した。二層系の薄膜の弾性変形を導入することによって,簡単な製造技術を利用して表面上に容易に凸パターンを生成することが出来る。二層系は一軸性または二軸性に高度に伸張され,それぞれ一次元および二次元の高アスペクト比構造を生ずる。機能化プラスチックを利用して,更なる処理なしで高度に疎水性の表面を得た。予めの伸張条件,膜厚,スティフネスを変化して生成された表面の構造を調べた。有限要素シミュレーションの結果は,弾性の存在がリッジを鋭くし,構造のアスペクト比を高めることを示した。

シソーラス用語： *皺 ,  *塑性変形 ,  *アスペクト比 ,  *微細加工 ,  パターン形成 ,  多層 ,  *ゴム ,  *プラスチックフィルム ,  疎水性 ,  計算機シミュレーション
準シソーラス用語： エラストマ ,  二層 ,  有限要素シミュレーション

分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  その他の成形  (YH04090Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： 微細 ,  塑性変形 ,  誘起 ,  高アスペクト比 ,  リッジ