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J-GLOBAL ID：201602299272695866   整理番号：16A1003721

パルスラジオリシス法を用いた高粘度溶液中のレジスト材料の放射線化学初期過程の研究

著者 (6件)： 齊藤悠太郎 (早大 理工研) ,  保坂勇志 (早大 理工研) ,  添田雄史 (早大 理工研) ,  近藤孝文 (大阪大 産科研) ,  吉田陽一 (大阪大 産科研) ,  鷲尾方一 (早大 理工研)
資料名： 放射線化学討論会講演要旨集  (Program and Abstract. Annual Meetings of the Japanese Society of Radiation Chemistry)
巻： 59th  ページ： 103-104  発行年： 2016年09月20日 
JST資料番号： L0690A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *パルス放射線分解 ,  粘度 ,  *粘性流体 ,  *材料 ,  放射線化学反応 ,  電子照射 ,  共重合 ,  粘度調整剤 ,  高粘度 ,  *高粘性流体 ,  係数 ,  輸送係数 ,  度 ,  環状エーテル
準シソーラス用語： *レジスト材料 ,  *高粘度流体

分類 (2件)： 放射線化学反応  (CB09020M) ,  放射線高分子化学  (CG03050S)

物質索引 (3件)： THF ,  2-クロロ-4-メチル-4-フェニルペンタン酸メチル ,  3,4-ジメチルテトラヒドロフラン-3-カルボン酸メチル

タイトルに関連する用語 (8件)： パルスラジオリシス ,  高粘度 ,  溶液 ,  レジスト材料 ,  放射線化学 ,  初期 ,  過程 ,  研究