文献
J-GLOBAL ID：201602299420032236   整理番号：13A1474772

Study of planarization efficiency of an alkaline copper slurry on 300mm pattern wafer CMP

  • 出版者サイト 複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=13A1474772&COPY=1") }}
  • 高度な検索・分析はJDreamⅢで
著者 (7件)：
Zheng Weiyan

Zheng Weiyan について

(Inst. of Microelectronics, Hebei Univ. of Technol., Tianjin)

Inst. of Microelectronics, Hebei Univ. of Technol., Tianjin について

, 
Liu Yuling

Liu Yuling について

(Inst. of Microelectronics, Hebei Univ. of Technol., Tianjin)

Inst. of Microelectronics, Hebei Univ. of Technol., Tianjin について

, 
Wang Chenwei

Wang Chenwei について

(Inst. of Microelectronics, Hebei Univ. of Technol., Tianjin)

Inst. of Microelectronics, Hebei Univ. of Technol., Tianjin について

, 
Chuan Liwei

Chuan Liwei について

(Inst. of Microelectronics, Hebei Univ. of Technol., Tianjin)

Inst. of Microelectronics, Hebei Univ. of Technol., Tianjin について

, 
Wei Wenhao

Wei Wenhao について

(Inst. of Microelectronics, Hebei Univ. of Technol., Tianjin)

Inst. of Microelectronics, Hebei Univ. of Technol., Tianjin について

, 
Yue Hongwei

Yue Hongwei について

(Inst. of Microelectronics, Hebei Univ. of Technol., Tianjin)

Inst. of Microelectronics, Hebei Univ. of Technol., Tianjin について

, 
Cao Guanlong

Cao Guanlong について

(Inst. of Microelectronics, Hebei Univ. of Technol., Tianjin)

Inst. of Microelectronics, Hebei Univ. of Technol., Tianjin について


資料名：
Gongneng Cailiao  (Gongneng Cailiao)

Gongneng Cailiao について


巻： 43  号： 24  ページ： 3472-3474  発行年： 2012年 
JST資料番号： C2095A  ISSN： 1001-9731  CODEN： GOCAEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)
タイトルに関連する用語 (1件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
CMP

CMP について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM