浮遊電極の一部がガス流路内部に面している誘導結合型マイクロプラズマ源およびこれを使用した装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小沢信助
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-023681
公開番号（公開出願番号）：特開2013-161694
特許番号：特許第5966212号
出願日： 2012年02月07日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】コイルに高周波電流が流れることにより点灯するマイクロプラズマ源において、浮遊電極をその一部がガス流路内部に面しているように配置することによりガス流路内部にプラズマが発生することを特徴とする誘導結合型マイクロプラズマ源。

IPC (2件)：