仕切弁

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：志賀正武 , 鈴木慎吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-118988
公開番号（公開出願番号）：特開2013-245739
特許番号：特許第5977581号
出願日： 2012年05月24日
公開日（公表日）： 2013年12月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】仕切弁であって、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第1開口部及び第2開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第1開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を、前記第1開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第1開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段と、を具備し、前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第1開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第1可動弁部と、前記第1可動弁部を前記流路方向前記第1開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第1開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第1付勢部と、前記第1可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第2可動弁部と、前記第1付勢部の付勢力に対抗して前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第2付勢部と、前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第1可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第1可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第3付勢部と、を具備するとともに、前記第2付勢部は、第2周囲領域において前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との間に形成されたエアシリンダとされ、該エアシリンダには、その摺動部分に溝内に設けられたOリングを有するシール部が備えられ、前記シール部には、前記溝内で閉塞空間が形成されないように前記閉塞空間部分を低圧側に連通するためのリーク孔が設けられてなることを特徴とする仕切弁。

IPC (3件)：

F16K 3/18 ( 200 6.01) , F16K 3/10 ( 200 6.01) , F16K 51/02 ( 200 6.01)

FI (3件)：

F16K 3/18 B , F16K 3/10 , F16K 51/02 B

引用特許：

出願人引用 (6件)

仕切弁
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-053141 出願人：株式会社アルバック
スライドバルブ
公報種別：再公表公報出願番号：JP2006311546 出願人：株式会社キッツエスシーティー
真空装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-076225 出願人：三菱アルミニウム株式会社

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審査官引用 (6件)

仕切弁
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-053141 出願人：株式会社アルバック
スライドバルブ
公報種別：再公表公報出願番号：JP2006311546 出願人：株式会社キッツエスシーティー
真空装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-076225 出願人：三菱アルミニウム株式会社

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