特許
J-GLOBAL ID：201603000197473259

放射を発生させるための方法及び装置

発明者：
バディー,ラミン

バディー,ラミン について

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バニエ,バディム

バニエ,バディム について

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ディクスマン,ヨハン

ディクスマン,ヨハン について

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ケンペン,アントニウス

ケンペン,アントニウス について

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ヤクニン,アンドレイ

ヤクニン,アンドレイ について

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ヴァン グリーヴェンブロエク,ヘンドリクス

ヴァン グリーヴェンブロエク,ヘンドリクス について

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ウィンケルズ,ゲラルドス,コエン

ウィンケルズ,ゲラルドス,コエン について


出願人/特許権者：
エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. について


代理人 (2件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-538360
公開番号（公開出願番号）：特表2015-536538
出願日： 2013年10月03日
公開日（公表日）： 2015年12月21日
要約：
【課題】励起ビームによってプラズマに励起された燃料粒子からEUV放射等の放射を発生させるための方法及び装置を提供する。【解決手段】極端UV(EUV)放射を発生させるための放射源(例えばレーザ生成プラズマ源(LPP))は、異なる軌道を有する少なくとも2つの燃料粒子流を有する。各粒子流は、プラズマ形成領域で合焦された励起(レーザ)ビームの経路を横断するように送出されるが、プラズマ形成領域においてそれらの軌道は離間しており、粒子流の位相を調節して、いかなる時点でも1つだけの粒子流がプラズマ形成領域内に燃料粒子を有するようにし、更に、一方の流れからの燃料粒子がプラズマ発生領域においてプラズマ及びEUV放射を発生させている時に他の燃料粒子は充分に離間されて、プラズマによって実質的に影響を受けないようにする。この構成により、特定の粒子サイズについて達成することができる放射強度を2倍にする可能性が与えられる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
リソグラフィ装置のための放射を発生させる方法であって、 第1の軌道に沿って燃料粒子の第1の流れを送出し、プラズマ形成領域内で励起ビームの経路を横断させることと、 第2の軌道に沿って燃料粒子の第2の流れを送出し、前記プラズマ形成領域内で前記励起ビームの前記経路を横断させることと、を備え、 前記燃料粒子が前記励起ビームによって励起されてプラズマを形成し、前記プラズマ形成領域内で放射を発生させ、 一方の流れからの燃料粒子が前記励起ビームの前記経路を横断してプラズマを発生させている時に他方の流れからの隣接する粒子は前記発生させたプラズマから充分に遠くに離間されて前記発生させたプラズマによって実質的に影響を受けないように、前記第1及び第2の軌道が前記プラズマ形成領域内で離間して前記第1及び第2の流れの前記燃料粒子が前記励起ビームを横断する時間を調節する、方法。
IPC (1件)：
H05G 2/00
FI (1件)：
H05G2/00 K
Fターム (8件)：
4C092AA06 ,  4C092AA14 ,  4C092AA15 ,  4C092AB10 ,  4C092AB19 ,  4C092AC09 ,  4C092CE01 ,  4C092CF42
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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