特許
J-GLOBAL ID：201603000350356330
DLC粉末作製装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 正俊
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-159658
公開番号（公開出願番号）：特開2014-019609
特許番号：特許第5968136号
出願日： 2012年07月18日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基準電位に接続された真空槽と、
上記真空槽の内部に設置された開口形状の容器と、
上記真空槽の内部に原料ガスとしての炭化水素系ガスを導入するガス導入手段と、
上記真空槽と上記容器とを一対の電極として該真空槽と該容器とに上記炭化水素系ガスを放電させるための交流の放電用電力を供給する放電用電力供給手段と、
上記放電用電力の値が第1電力値となる第1期間と該放電用電力の値が該第1電力値よりも小さい第2電力値となる第2期間とが交互に形成されるように該放電用電力の態様を制御する電力態様制御手段と、
を具備し、
上記放電用電力は周波数が10kHz〜250kHzの矩形波パルス電力であり、
上記第1期間と上記第2期間とのそれぞれは10ms〜10sであり、
上記第2電力値は上記第1電力値の20%以下である、
DLC粉末作製装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
