特許
J-GLOBAL ID：201603001451366251
質量分析装置及びその使用方法、並びにガス透過特性測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-038194
公開番号（公開出願番号）：特開2013-175321
特許番号：特許第6002404号
出願日： 2012年02月24日
公開日（公表日）： 2013年09月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 測定対象ガスとクリーニングガスとが切り替えて導入されるガス導入口、及び、前記ガス導入口から導入されたガスを排気するガス排気口を有するイオン化部と、
前記イオン化部によりイオン化されたイオンを分析する質量分析部と、
前記イオン化部を加熱するイオン化部加熱手段と、
前記イオン化部を強制的に冷却するイオン化部冷却手段と、
を備えたことを特徴とする質量分析装置。
IPC (2件)：
H01J 49/10 ( 200 6.01)
, G01N 27/62 ( 200 6.01)
H01J 49/10
, G01N 27/62 G
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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