特許

J-GLOBAL ID：201603001683095807

自動集積回路分析を行うための方法および装置

発明者： デイヴィッド・エス・ストーカー ,  エリック・フランク・マトリン ,  モティラル・アグラワル ,  ジェームズ・アール・ポットハスト ,  ニール・ウィリアム・トロイ
出願人/特許権者： エスアールアイ インターナショナル
代理人 (3件)： 村山 靖彦 ,  実広 信哉 ,  阿部 達彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-547965
公開番号（公開出願番号）：特表2016-506623
出願日： 2013年11月21日
公開日（公表日）： 2016年03月03日
要約：

集積回路を走査するための方法および装置であって、複数の時間同期されたレーザ走査顕微鏡であって、各レーザ走査顕微鏡が、試験対象の集積回路の同じ視野を走査するように構成され、これは、試験対象の集積回路の複数の画像を生成する、複数の時間同期されたレーザ走査顕微鏡と、レーザ走査顕微鏡に結合された、複数の画像を処理するためのデータ処理装置とを備え、データ処理装置が、試験対象の集積回路の構造を定義する1つまたは複数のネットリストを生成するネットリスト抽出器(NE)を備える方法および装置。

請求項（抜粋）：

集積回路を走査するための装置であって、 複数のレーザ走査顕微鏡であって、各レーザ走査顕微鏡が、試験対象の集積回路の同じ視野を走査するように構成され、これは、前記試験対象の集積回路の複数の画像を生成する、複数のレーザ走査顕微鏡と、 前記レーザ走査顕微鏡に結合された、前記複数の画像を処理するためのデータ処理装置とを備え、前記データ処理装置が、 前記試験対象の集積回路の構造を定義する1つまたは複数のネットリストを生成するネットリスト抽出器(NE)を備える 装置。

IPC (1件)：

H01L 21/66

FI (1件)：

H01L21/66 C

Fターム (18件)：

4M106AA20 ,  4M106AB18 ,  4M106BA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA38 ,  4M106DB01 ,  4M106DB02 ,  4M106DB04 ,  4M106DB08 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ27

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 集積回路診断方法、システム、およびプログラム・プロダクト
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-564618   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
• 検査装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-141392   出願人：NECエレクトロニクス株式会社