特許
J-GLOBAL ID：200903024681062760

検査装置及び方法

発明者：
中村 豊一

中村 豊一 について


出願人/特許権者：
NECエレクトロニクス株式会社

NECエレクトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-141392
公開番号（公開出願番号）：特開2006-319193
出願日： 2005年05月13日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：
【課題】 故障検出の分解能を高める装置と方法の提供。 【解決手段】 検査対象のサンプル101の予め定められた検出箇所に関連付けされた所定範囲の領域に対して加熱用のレーザビームを掃引し、サンプルの検出箇所に検出用レーザをあて検出用レーザの反射光から、熱反射情報又は赤外線の強度を検出する検出器110を備え、検出箇所からの検出結果に基づき、所定範囲の領域の熱分布情報を取得する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検査対象のサンプルの予め定められた検出箇所に関連付けされた所定範囲の領域に対して加熱箇所を掃引する手段と、 前記検出箇所からの熱情報を検出する手段と、 を備え、前記検出箇所からの熱情報の検出結果に基づき、前記所定範囲の領域に関する熱分布情報を採取可能としてなる、ことを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66 ,  G01N 25/72 ,  G01R 31/302
FI (3件)：
H01L21/66 S ,  G01N25/72 G ,  G01R31/28 L
Fターム (23件)：
2G040AA05 ,  2G040AB08 ,  2G040BA18 ,  2G040BA26 ,  2G040BA27 ,  2G040CA01 ,  2G040CA23 ,  2G040DA06 ,  2G040DA12 ,  2G040DA15 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G040HA02 ,  2G040HA11 ,  2G132AD15 ,  2G132AF14 ,  2G132AL12 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA16 ,  4M106DH07 ,  4M106DH13 ,  4M106DJ23
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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