特許
J-GLOBAL ID：201603001684708950

電子顕微鏡装置およびそれを用いた撮像方法

発明者：
小林 光俊

小林 光俊 について

, 
中平 健治

中平 健治 について

, 
田中 麻紀

田中 麻紀 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 青稜特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-136874
公開番号（公開出願番号）：特開2016-015252
出願日： 2014年07月02日
公開日（公表日）： 2016年01月28日
要約：
【課題】関心領域が高画質であり、かつそれ以外の領域も観察に十分な画質である広視野画像を高速に撮像する。【解決手段】電子顕微鏡装置を用いた撮像方法において、試料の広視野領域に収束させた電子ビームを低ドーズ量で照射し走査して試料の広視野画像を取得し、この広視野画像から広視野領域の内部に含まれる比較的狭い視野の狭視野領域を設定し、この狭視野領域に収束させた電子ビームを高ドーズ量で照射し走査して試料の狭視野画像を取得し、取得した広視野画像と狭視野画像とのノイズ除去パラメータを画素あたりのドーズ量に応じて決定し、このノイズ除去パラメータに基づいて広視野画像と狭視野画像の画質改善処理を行い、この画質改善処理を施した広視野画像を用いて画質改善処理を施した狭視野画像のドリフト補正を行い、このドリフト補正を行った狭視野画像と広視野画像とを合成画像の全領域における視認性が同程度となるよう合成するようにした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料に収束させた電子ビームを照射し前記試料の画像を取得する電子顕微鏡において、 前記試料の画像を取得するための処理条件を設定する処理部と、 前記取得した前記試料の画像を処理する画像処理部と、 前記試料の画像を取得するための条件を入力し、前記画像処理部で処理した結果を出力する入出力部と、 前記画像処理部と前記入出力部とを制御する制御部とを備え、 前記画像処理部は、 前記試料の画像を取得するための比較的広い視野の広視野領域と、該広視野領域の内部に含まれる1つ以上の比較的狭い視野の狭視野領域とを設定し、前記広視野領域と前記狭視野領域とを撮像して取得する広視野画像と狭視野画像の画素あたりのドーズ量が前記広視野画像よりも前記狭視野画像のほうが多くなるように設定する撮像領域設定部と、 前記広視野領域と前記狭視野領域との画質改善処理に関するパラメータを各領域の画素あたりのドーズ量に応じて決定するパラメータ決定部と、 該パラメータ決定部で決定したパラメータに基づいて前記広視野画像と狭視野画像との画質改善処理を行う画質改善処理部と、 該画質改善処理部で画質改善処理して画像を合成する画像合成部と を有することを特徴とする電子顕微鏡装置。
IPC (1件)：
H01J 37/22
FI (4件)：
H01J37/22 502H ,  H01J37/22 502C ,  H01J37/22 502G ,  H01J37/22 502B
引用特許：
出願人引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM