特許
J-GLOBAL ID：201603001829023765

キャリア基板を外すための屈曲可能なキャリア台、デバイス、および方法

発明者：
ユルゲン・ブルクグラーフ

ユルゲン・ブルクグラーフ について

, 
ダニエル・ブルクシュタラー

ダニエル・ブルクシュタラー について


出願人/特許権者：
エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー

エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー について


代理人 (4件)： アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  前川 純一 ,  二宮 浩康 ,  上島 類
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-014537
公開番号（公開出願番号）：特開2016-106416
出願日： 2016年01月28日
公開日（公表日）： 2016年06月16日
要約：
【解決手段】本発明は製品基板(11)からキャリア基板(13)を外す際にキャリア基板(13)を保持するための屈曲可能なキャリア台(1)に関し、基板(13)を曲げている間に基板(11)を外すための解決策(1,28)が提供される。さらに本発明は外し方向(L)において製品基板(11)からキャリア基板(13)を外すためのデバイスであって、基板(13)を保持するために外し方向(L)に曲げられ得るキャリア台(1)と、基板(11)を保持するための基板ホルダ(18)と、基板(13)を曲げている間に基板(11)から基板(13)を外すための解決策(1,15,15',16,28)とを備えるデバイスに関する。また本発明は外し方向(L)において製品基板からキャリア基板を外すための方法であって、基板ホルダにより製品基板を保持し、外し方向(L)に曲げられ得るキャリア台によりキャリア基板を保持するステップと、製品基板を曲げている間に製品基板からキャリア基板を外すステップとを含む方法に関する。【選択図】図9c
請求項（抜粋）：
キャリア基板(13)が製品基板(11)から剥離される際に前記キャリア基板(13)を取り付けるための可撓性のキャリア台(1)であって、前記キャリア基板(13)を曲げることにより前記製品基板(11)を剥離するために剥離手段(1、28)が設けられたキャリア台(1)。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/02
FI (2件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/02 C
Fターム (11件)：
5F131AA02 ,  5F131CA09 ,  5F131CA32 ,  5F131EA07 ,  5F131EA23 ,  5F131EB33 ,  5F131EB37 ,  5F131EC32 ,  5F131EC43 ,  5F131EC44 ,  5F131EC77
引用特許：
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM