特許

J-GLOBAL ID：201603001848138190

電動パルス放電によって光放射を発生するための方法及び装置

発明者： プリュンマー ラルフ ,  コンラーツ ラルフ ,  ベルクマン クラウス ,  キュッパー フェリクス ,  ヨンカース イェルーン
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社 ,  フラウンホーファー ゲゼルシャフト ツア フェルデルング デア アンゲヴァンテン フォルシュング エー ファウ
代理人 (2件)： 藤田 アキラ ,  今井 秀樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-524281
特許番号：特許第5982486号
出願日： 2012年06月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 電動パルス放電によって光放射を発生する方法であって、 - 発生されることになる前記放射(18)を放射するプラズマ(15)が、放電空間における少なくとも2つの電極(1、2)間でガス媒体中にて点火され、 - 前記ガス媒体が、前記放電空間にて移動する1つ又は幾つかの表面に施され且つ1つ又は幾つかのパルスエネルギビーム(9)によって少なくとも部分的に蒸発される液体材料(6)から少なくとも部分的に生成され、 - 前記パルスエネルギビーム(9)の少なくとも2つの連続パルス(16)が、前記液体材料(6)を蒸発させるために、各放電の時間間隔内に前記表面上に印加され、 - 前記プラズマ(15)の発光中心の位置が、前記少なくとも2つの連続パルス(16)間の時間遅延及び/又は前記少なくとも2つの連続パルス(16)のパルスエネルギを制御することによって、多数の前記放電をカバーする期間中、一定に保持される方法。

IPC (3件)：

H05G 2/00 ( 200 6.01) ,  H05H 1/24 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H05G 2/00 K ,  H05H 1/24 ,  H01L 21/30 531 S

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 極端紫外光光源装置および極端紫外光発生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-257439   出願人：国立大学法人東京工業大学, ウシオ電機株式会社

審査官引用 (1件)

• 極端紫外光光源装置および極端紫外光発生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-257439   出願人：国立大学法人東京工業大学, ウシオ電機株式会社