焦点制御装置及びその方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：阿部達彦 , 実広信哉 , 崔允辰 , 木内敬二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-267407
公開番号（公開出願番号）：特開2014-115336
特許番号：特許第6014902号
出願日： 2012年12月06日
公開日（公表日）： 2014年06月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光学系に対する観察対象の焦点位置からの誤差を示す焦点誤差信号に対して補正を行う誤差信号補正部と、観察対象領域及び当該観察対象領域と異なる高さの非観察対象領域の間において、前記光学系の観察する領域が切り替わる際、観察対象領域及び非観察対象領域の各々に対応する領域信号を出力する領域切り替わり検出部とを備え、前記誤差信号補正部が、前記領域信号が前記非観察対象領域を示す場合、前記焦点誤差信号に対して前記観察対象領域における焦点位置からの誤差に対応する数値となる補正を行うことを特徴とする焦点制御装置。

IPC (3件)：