特許
J-GLOBAL ID：201603003115461281

被加工物の搬入・搬出装置

発明者：
野村 洋志

野村 洋志 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-019678
公開番号（公開出願番号）：特開2013-161802
特許番号：特許第5976329号
出願日： 2012年02月01日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被加工物を処理する処理機に装備され被加工物を保持する保持面を有する保持テーブルに被加工物を搬出入するための被加工物の搬入・搬出装置であって、 中心に該保持テーブルの保持面と平行に回転軸が設けられた作動部材と、該作動部材における該回転軸に対して互いに180度離間した第1の装着部および第2の装着部にそれぞれ配設された第1の被加工物保持手段および第2の被加工物保持手段と、該作動部材の該回転軸を回転駆動する回転駆動手段と、該作動部材を該保持テーブルの保持面に対して垂直な方向に移動せしめる移動手段と、を具備し、 該第1の被加工物保持手段および該第2の被加工物保持手段は、該作動部材の該第1の装着部および該第2の装着部に該回転軸と平行に一端部がそれぞれ回転可能に支持された第1の支持軸および第2の支持軸と、該第1の支持軸および該第2の支持軸の他端にそれぞれ吊垂状態で装着された第1の被加工物保持具および第2の被加工物保持具とからなっており、 被加工物を該第1の被加工物保持具、又は該第2の被加工物保持具により保持し、該被加工物を該保持面に載置した後、該第1の被加工物保持具、又は該第2の被加工物保持具と該被加工物との保持状態を解除する、 ことを特徴とする被加工物の搬入・搬出装置。
IPC (4件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B65G 49/07 ( 200 6.01) ,  H01L 21/301 ( 200 6.01) ,  B23Q 7/04 ( 200 6.01)
FI (6件)：
H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 D ,  B65G 49/07 G ,  H01L 21/78 N ,  H01L 21/78 B ,  B23Q 7/04 G
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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