特許

J-GLOBAL ID：201603003215901432

検査装置

発明者： 中野 雅広
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人太陽国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-210125
公開番号（公開出願番号）：特開2016-080445
出願日： 2014年10月14日
公開日（公表日）： 2016年05月16日
要約：

【課題】移動可能な移動部に基板を設置する構成において、押付部が基板を移動部に押し付ける際における押付部と基板との位置ズレを抑制する。【解決手段】検査装置は、基板が検査される検査位置と、該基板が着脱される着脱位置との間を移動可能な移動部と、該検査位置にある該移動部の上側から下降位置に下降して、該基板を該移動部に押し付ける押付部と、該押付部が該基板を該移動部に押し付ける際に該押付部に対して該移動部を少なくともその移動方向に位置決めする位置決部と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板が検査される検査位置と、該基板が着脱される着脱位置との間を移動可能な移動部と、 該検査位置にある該移動部の上側から下降位置に下降して、該基板を該移動部に押し付ける押付部と、 該押付部が該基板を該移動部に押し付ける際に該押付部に対して該移動部を少なくともその移動方向に位置決めする位置決部と、 を備える検査装置。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/28

FI (2件)：

G01R1/073 D ,  G01R31/28 K

Fターム (12件)：

2G011AA02 ,  2G011AA10 ,  2G011AA15 ,  2G011AC06 ,  2G011AE01 ,  2G011AF07 ,  2G132AA20 ,  2G132AE04 ,  2G132AF02 ,  2G132AF06 ,  2G132AJ04 ,  2G132AL03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-095881
  
• 基板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-320523   出願人：日本電産リード株式会社